
Belgialainen mikroelektroniikan tutkimuskeskus Imec on vihkinyt käyttöön NanoIC-pilottilinjan osana 2 000 neliömetrin puhdastilalaajennusta Leuvenin kampuksellaan. Hanke on keskeinen osa EU:n puolijohdestrategiaa ja tähtää alle kahden nanometrin järjestelmäpiiriteknologiaan.
Pilottilinja on neljä vuotta sitten julkistetun EU:n Chips Act -ohjelman ensimmäinen konkreettinen infrastruktuureja koskeva askel. Uuteen puhdastilaan asennetaan ASML:n seuraavan sukupolven High-NA EUV -litografiajärjestelmä, jonka toimitus on suunniteltu maaliskuulle. Laitteisto mahdollistaa entistä pienemmät viivaleveydet ja tarkemman resoluution ilman monimutkaista monivalotusta.
Alle 2 nanometrin solmussa perinteinen FinFET-arkkitehtuuri on jo korvautumassa GAA- eli gate-all-around- ja nanosheet-rakenteilla. High-NA EUV on keskeinen mahdollistaja näiden rakenteiden valmistuksessa.
NanoIC-linja ei ole kaupallinen foundry, vaan pilottituotantolinja. Sen tehtävä on validoida alle 2 nm -prosessiteknologioita, kehittää uusia materiaaleja ja laiterakenteita, sekä tarjota eurooppalaisille puolijohdeyrityksille, laitevalmistajille ja startupeille pääsy huipputyökaluihin.
Seuraavien viiden vuoden aikana verkostoon integroidaan yli sata uutta työkalua. NanoIC-konsortioon kuuluvat imecin lisäksi muun muassa CEA-Leti, Fraunhofer, VTT, CSSNT-UPB Romaniasta ja Tyndall National Institute Irlannista.
Hankkeen rahoitus tulee EU:n Chips Joint Undertaking -ohjelmasta sekä osallistuvilta jäsenmailta. Tavoite ei ole kilpailla suoraan Aasian jättitehtaiden volyymeilla, vaan varmistaa, että Euroopalla on omaa osaamista ja infrastruktuuria seuraavan sukupolven solmussa.
Alle 2 nanometrin kehitys nähdään keskeisenä erityisesti tekoälyn ja korkean suorituskyvyn laskennan sovelluksissa. NanoIC on EU:n vastaus siihen, että arvoketjun kriittisin osa, kehittynyt valmistusteknologia, ei karkaa kokonaan Euroopan ulkopuolelle.




















Virtaamamittaus on monissa laitteissa kriittinen mutta usein ongelmallinen toiminto. Perinteiset mekaaniset anturit kuluvat ja jäävät sokeiksi pienille virtausnopeuksille. Ultraäänitekniikkaan perustuvat valmiit moduulit tarjoavat nyt tarkan, huoltovapaan ja helposti integroitavan vaihtoehdon niin kuluttaja- kuin teollisuussovelluksiin.