Kiihtyvyyttä ja liikettä mittaavia antureita löytyy nykyään jo lähes kaikista laitteista. Espanjalainen Nanusens on nyt kehittänyt tekniikan, jolla anturi voidaan kutistaa nanokokoon. Tämä tekee anturista paitsi pienemmän, myös tarkemman ja luotettavamman.
Lepokitka tarkoittaa niitä voimia, jotka vaikuttavat anturiin pysähtyneenä. Tällaisia ovat esimerkiksi Van der Waalsiin ja Casimirin voimat. Ne ovat mikroskooppisen pieniä, mutta vaikuttavat silti liikeanturin tarkkuuteen.
MEMS-anturi koostuu suljetusta tilasta, jossa jouseen kiinnitetty massa liikkuu liikkeen voimasta. Sen etäisyys elektrodiin muuttaa näiden välistä kapasitanssia, jonka perusteella kiihtyvyyttä tai suuntaa voidaan laskea. Kovassa liikkeessä jousi voi liikkua liian pitkän matkan, jolloin massa koskettaa anturikotelon sisäpintaa. Tällöin massa voi jäädä kiinni pintaan lepokitkavoimien takia, jolloin anturi lakkaa toimimasta.
Tätä voidaan ehkäistä tekemällä jousesta vahvempi. Tämä kuitenkin heikentää anturin herkkyyttä. Nanusensin ratkaisussa 1-2 mikronin kokoiset rakenteet kutistetaan 0,3 mikroniin. Rakenteiden pinta-alan kutistuessa lepokitkavoimat pienenevät merkittävästi. Jousen massa voidaan kutistaa, mikä teoriassa heikentäisi herkkyyttä, mutta massan ja elektrodin etäisyys pienenee myös, mikä kompensoi herkkyyden heikkenemistä.
Nanusens on nyt saanut ensimmäiset NEMS-näyteanturinsa (Nano ElectroMechanical Systems) Globalfoundriesin tehtaalta. Testeissä ne ovat kestäneet yli 10 000 kytkentäjaksoa jopa yli tuhannen g:n voimilla. Yhtiön mukaan herkkyys on kertaluokkaa parempi kuin mitä missään kaupallisissa antureissa tarvitaan.
Tuloksena on aiempaa pienempi anturi, joka kestää hyvin kovia iskuja ja voimia ja on aiempaa tarkempi ja luotettavampi. Lisäksi se voidaan valmistaa standardissa CMOS-prosessissa. Nanusens ja Globalfoundries sanovat jo vievänsä antureita 0,18 mikronin prosessiin.
