Cambridgen yliopistossa kehitetty MEMS-anturi pysyy mittamaan ilman epäpuhtauksia selvästi aiempia ratkaisuja tarkemmin ja selvästi pienemmässä koossa. Nyt tekniikka on saatu kaupallistettua Sorex Sensors -nimisen spinoffin kautta.
Sorexin tuote on akustista resonanssia mittaava MEMS-pohjainen FBAR-piiri. Se sopii kaikkiin sovelluksiin, joissa pitää havaita hyvin pieniä massoja tarkasti erittäin pienellä mittauslaitteella.
Anturi perustuu FBAR-rakenteeseen. Piille rakennetaan kahden elektrodin väliin pietsosähköinen kalvo, joka saatetaan resonoimaan. Massan -vaikkapa ilmassa liejuvan partikkelin – kiinnittyminen anturin päälle muuttaa värähtelytaajuutta ja tuottaa erittäin tarkan mittausarvon massan painosta.
Erittäin tarkka tarkoittaa tässä tapauksessa femtogrammojen tarkkuutta. Sen avulla voidaan erittäin tarkasti havaita esimerkiksi kaasuja huoneilmasta. Toinen ilmeinen käyttökohde löytyy puolijohdeteollisuudesta, jossa anturilla voidaan monitoroida vaikkapa ALD-kasvatuksen onnistumista.
Anturilla voidaan samalla mitata lämpötiloja 0,2 asteen tarkkuudella. Yhden anturin mittausalue on kooltaan 100 x 100 mikrometriä. 20 anturin matriisilla voidaan rakentaa 4x4 millimetrin mittauslaite, jonka tehonkulutus on äärimmäisen pieni, mikrowatteja.
Sorex on kehittänyt helppokäyttöisen läppäriin liitettävän kehitysalustan, joka näyttää anturin mittausarvot.