MEMS-komponentti lienee useimmille jo tuttu, eli mikrosähkömekaaninen järjestelmä. Siis niitä komponentteja, joita vaikkapa entinen VTI kehittää Kehä III:n varrella Muratan nimen alla. Mutta mikä ihme on MOMS? Belgialaisessa mikroelektroniikan tutkimuskeskus IMECissä on kehitetty painetta mittaava MOMS-anturi.
Lyhenne tulee sanoista ”micro-optomechanical system” eli mikro-optomekaaninen järjestelmä. Uudenlaiseen rakenteeseen perustuva anturi mittaa painetta erittäin tarkasti ja esimerkiksi EMI-häiriöille immuunina.
Paineantureilla mitataan korkeutta tai syvyyttä, tai esimerkiksi veren virtaavuutta suonissa. Tämä tapahtuu tyypillisesti MEMS-pohjaisilla antureilla tai optiseen kuituun perustuvilla tekniikoilla. Näissä molemmissa on sekä etunsa että haittapuolensa.
IMECIn mukaan MOMS-paineanturi yhdistää näiden kahden tekniikan edut eli MEMS-komponenttien hyvän suorituskyvyn ja pienen koon, sekä kuitujen sopimisen hankaliin olosuhteisiin. Tuloksena on MEMS-komponenttien tavoin painetta tarkasti erittäin laajalla skaalalla mittaava laite, joka ei häiriinny EMI-säteilystä.
IMECin mittausten mukaan MOMS-anturi mittaa painetta alle 1Pa:n tarkkuudella skaalalla, joka kattaa helposti 100 kP:n alueen.
Uusi anturi sopinee erityisen hyvin moniin lääketieteellisen mittauksiin. IMEC kertookin toivovansa yhteydenottoja alan yrityksiltä uusien innovatiivisten mittauslaitteiden kehittämiseksi.